齒輪是精密行星減速機中重要的組成部分，齒輪的傳動可完成減速、增速或改變方向等功能。它在各種傳動機械設備及整個機械領域的應用范圍及其廣大。由于齒輪在設備中作用不同，因而有多種齒輪類型和尺寸，但總體可分為齒圈和輪體兩個部分。齒輪的制造精度關乎于整個行星齒輪減速機的工作性能、承載能力和使用壽命。提高行星齒輪使用系數,須了解以下幾點。
1.齒輪的材料的選擇
齒輪應按照減速機的工作條件選用合適的材質，齒輪材料的選擇對齒輪的加工性能和使用壽命都有直接的影響，精密行星減速機齒輪材料一般會選用鉬釩合金鋼，可利于增加齒輪的耐磨度和耐沖擊性。
2. 運轉精度
3. 接觸精度
齒輪在傳遞動力時，由于沖擊載荷分布不均勻使接觸應力過大，可造成齒輪磨損加快，進而要求行星輪在工作時齒面接觸要均勻，而且有定量的接觸面積和符合要求的接觸位置。
4. 齒側間隙
齒面于非工作面之間保留定量間隙，以儲存潤滑脂，補償因溫度、彈性變形所引起的尺寸變化和加工、裝配時的一些誤差。
5. 工作平穩性
行星減速機運轉平穩，無振動和低噪音，這_要求限制齒輪轉動時瞬時速比的變化要小，也_是要限制短周期內的轉角誤差。
6、齒輪的熱處理
     齒形加工后，為提高齒面的高剛性和耐磨度，須進行滲碳淬火、高頻感應加熱淬火、碳氮共滲和滲氮等熱處理工序，使行星齒輪基材硬度達到30HRC，和齒輪表面的硬度氮化至840HV，確保使用性能 。